對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過(guò)程室之間有門(mén)閥隔開(kāi)的場(chǎng)合
閥尺寸 22 軸數(shù):2軸 波紋管;對(duì)應(yīng)晶片尺寸:200mm
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對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過(guò)程室之間有門(mén)閥隔開(kāi)的場(chǎng)合
閥尺寸 22 軸數(shù):2軸 波紋管;對(duì)應(yīng)晶片尺寸:200mm