ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR300

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR300

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以

氣態(tài)排出。

長處

可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡

CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。

“Model：UR” 甚至可以高于 “Model：HR”。

由于安裝了氦氣密封

屏蔽電機(jī)，因此具有密封結(jié)構(gòu)，因此非常安全。

瞬時停止：在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要

部件采用特殊的表面處理，以高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性為標(biāo)準(zhǔn)。 減少排空腐蝕性氣體時泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

用

CVD 設(shè)備

蝕刻設(shè)備

灰化裝置

ALD、ALH 等