技術(shù)參數(shù)： 1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV) 2.加速電壓：0.1KV-30kV 3.放大倍數(shù)：25-100萬倍 4.樣品室尺寸：*200mm直徑樣品 5.束流強(qiáng)度：10-13到2X10-9 主要特點(diǎn)： 1.主動(dòng)式減震器 2.磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無需UPS保護(hù) 3.標(biāo)配的五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對中樣品臺(tái)