使用氦氣的泄漏測(cè)試方法

選擇測(cè)試方法的示例

每種測(cè)試方法的特點(diǎn)

此外，還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置，以降低運(yùn)行成本，因此請(qǐng)單獨(dú)與我們聯(lián)系。
我們將根據(jù)初始成本和運(yùn)行成本提出建議。

真空法

測(cè)試方法	真空噴涂法	真空罩法
檢漏精度	1E - 09 帕·米3/sec 或更高	1E - 09 帕·米3/sec 或更高
整體測(cè)量	×	○
泄漏位置	○	×
自動(dòng)化	△	○
初期成本	○	△
運(yùn)行成本	△	△
維護(hù)成本	△	△
受影響的產(chǎn)品	LDS3000

加壓方式

測(cè)試 方法	真空 Bellger 法	轟炸方式	嗅探器	加壓集成方式
泄漏檢測(cè) 精度	1E-07帕米3 /sec 或更高	1E-09Pa?m3 /sec 或更高	1E-06帕米3 /sec 或更高	1E-05帕米3 /sec 或更高
整體測(cè)量	○	○	×	○
泄漏位置識(shí)別	×	×	○	×
自動(dòng)化	○	○	△	○
初期 成本	×	○	○	△
運(yùn)行 成本	×	△	×	×
維護(hù)成本	×	×	△	△
受影響的產(chǎn)品	LDS3000		P3000（XL） 系列	LDS3000AQ

測(cè)試方法詳細(xì)信息

真空法

真空噴涂法

真空罩法

加壓方式

嗅探器

真空鐘罩法

加壓集成方式

轟炸方式

泄漏測(cè)試設(shè)備 加壓積分法

加壓積分法電路配置

氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置

氦氣檢測(cè)傳感器原理

180° 磁場(chǎng)脫毛質(zhì)譜儀

1. 進(jìn)入LDS3000AQ的氦氣通過(guò)渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管。
2. 到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動(dòng)。
3. + 當(dāng)離子通過(guò)磁場(chǎng)時(shí)，軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分。
4. 只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器，并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測(cè)量。

泄漏檢測(cè)設(shè)備 真空鐘罩法

真空鐘罩式反應(yīng)法電路配置

氦氣檢測(cè)器 LDS3000 電路配置

氦氣檢測(cè)原理

180° 磁場(chǎng)脫毛質(zhì)譜儀

1. 進(jìn)入LDS3000的氦氣通過(guò)渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管。
2. 到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動(dòng)。
3. + 當(dāng)離子通過(guò)磁場(chǎng)時(shí)，軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分。
4. 只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器，并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測(cè)量。