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西特setra真空電容式壓力計730

價格
電議

型號
730

品牌
setra西特

所在地
暫無

更新時間
2023-11-30 15:58:55

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    Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計 (CDG)),適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達±0.5%,分辨率高,優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計,它能測量介質(zhì),不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。

    適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
    采用單膜片可變電容感應(yīng)元件,適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點,使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。

    Inconel? 設(shè)計保證通用性
    所有接液部件均采用Inconel? 材料, 因此對半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。
    Inconel?材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu), 確保730型在這類應(yīng)用中的長使用壽命。

    直接壓力測量
    內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同,730型測量直接壓力, 不受被測混合氣的影響,這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。

    應(yīng)用
    ·半導(dǎo)體處理室
    ·石化
    ·等離子體滅菌器
    ·真空包裝

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    技術(shù)文件下載

    730新.pdf

    Setra_Model_730_Data_Sheet.pdf

    安裝手冊

    Setra_Model_730_Operating_Instructions.pdf


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