形式：箱式一體機(jī)，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，沉積腔采用SUS304真空氬弧焊成型不，一體機(jī)系統(tǒng)，可連接單排雙工位手套箱，中間用DN150高真空插板閥隔斷。

真空系統(tǒng)：極限真空5X10-4Pa，主泵為復(fù)合分子泵，抽速600L/S,前級(jí)泵配置直聯(lián)泵，主閥匹配。

真空測(cè)量：配數(shù)字復(fù)合真空計(jì)，均采用防爆金屬測(cè)量規(guī)。

工件架系統(tǒng)：客戶需求定制，可放入4英寸掩模版，轉(zhuǎn)速3～30rpm變頻可調(diào)。

烘烤系統(tǒng)：匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊，*高烘烤溫度300℃。

電阻蒸發(fā)源：水冷電極引入，2套電阻蒸發(fā)源，蒸發(fā)功率5KW，配置8KWE型電子槍1套，膜厚測(cè)試系統(tǒng)。匹配石英膜厚儀，可與擋板聯(lián)動(dòng)。

控制系統(tǒng)：成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng)，工業(yè)級(jí)10英寸觸摸屏和西門子PLC，能夠?qū)崿F(xiàn)抽真空、工轉(zhuǎn)烘烤、自動(dòng)冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程；支持半自動(dòng)和手動(dòng)等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動(dòng)報(bào)警和保護(hù)系統(tǒng)，采用聲光報(bào)警。

輔助系統(tǒng)：配置冷水機(jī)1臺(tái)，空壓機(jī)1臺(tái)。

說(shuō)明：本系統(tǒng)含單排雙工位手套箱1臺(tái)，單邊4個(gè)手套，有效長(zhǎng)度1.8米。