ULVAC愛(ài)發(fā)科濺射離子泵 PST-400CXII

2025/07/03 15:46:54

濺射離子泵使用電場(chǎng)和磁場(chǎng)使氣體分子電離。電離分子被電場(chǎng)加速并與固體目標(biāo)表面碰撞。這種碰撞導(dǎo)致分子嵌入表面并產(chǎn)生真空。該工藝對(duì)于去除惰性和反應(yīng)性氣體特別有效。

濺射離子泵是精密實(shí)驗(yàn)和制造工藝的理想選擇，因?yàn)樗鼈兛梢詫?shí)現(xiàn) 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒(méi)有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，因此使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低，并且不使用油來(lái)提供清潔、無(wú)污染的真空環(huán)境。此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優(yōu)點(diǎn)。

ULVAC愛(ài)發(fā)科濺射離子泵 PST-400CXII

該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來(lái)增強(qiáng)高真空范圍內(nèi)的排氣特性。

通過(guò)優(yōu)化新元件和磁場(chǎng)，改善了極端和高真空范圍內(nèi)的排氣特性。

長(zhǎng)處

兼容極端和高真空。 10 帶 ISO 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。

惰性氣體強(qiáng)化排氣型（AU 型）實(shí)現(xiàn)了氬氣排氣性能的兩倍。（與我們公司相比）

在高真空范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)大抽速。

可以在短時(shí)間內(nèi)排氣到高真空范圍。

在高真空范圍內(nèi)具有*的啟動(dòng)特性。（放電可承受至高真空）

用

粒子加速器

電子顯微鏡

電子束光刻設(shè)備

抗振分析儀

使用極端和高真空環(huán)境等

型		PST-110AU 型	PST-200CXII 系列	PST-200AXII 系列	PST-400CXII 系列	PST-400AXII
廢氣目標(biāo)氣體		活性氣體	活性氣體	稀有氣體	活性氣體	稀有氣體
再生抽速*		0.11 米3/s N2 測(cè)量氣體時(shí)	0.2 米3/s N2 測(cè)量氣體時(shí)	0.02 米3/s 測(cè)量 Ar 時(shí)	0.36 米3/s N2 測(cè)量氣體時(shí)	0.19 米3/s 測(cè)量 Ar 時(shí)
極限壓力		10-9帕	10-10帕
工作壓力	建議的值	<4.5x10-3帕	<3.8x10-3帕		<3.0x10-3帕
內(nèi)部卷		6.5 倍 10-3m3	11 倍 10-3m3		14x10-3m3
泵元件數(shù)量		AU 型電池 x2	2 個(gè) CX 型電池×	2 個(gè) AX 型電池×	CX 型單元格 × 4 個(gè)公式	4 個(gè) AX 型電池×
連接法蘭類型		UFC152的	UFC203
施加電壓		直流+7.5kV
加熱加熱器		無(wú)設(shè)置	單相 AC200V，600W		單相 AC200V，800W
標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度		250°C
質(zhì)量		36.5 千克	65 公斤		124 公斤
尺寸 W×D×H		171×387×293毫米	296×361×376毫米		296×544×376毫米
使用環(huán)境	溫度范圍	5~40°C
	濕度范圍	85% 或更低（無(wú)冷凝）
泵固定螺栓孔尺寸		4 位 - M6 深度 15mm	4 位 - M8 厚度 15 毫米		6 位 - M8 深度 15 毫米
的控制器		商品及服務(wù)稅（GST-07L-B）

膠州游藝廳空氣檢測(cè)

通遼?；穾?kù)防爆改造/化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)...

ULVAC愛(ài)發(fā)科 濺射離子泵 PST-400CXII

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