ULVAC愛發(fā)科油擴(kuò)散泵 BW-22

2025/07/02 15:42:32

油擴(kuò)散真空泵蒸發(fā)加熱的油以產(chǎn)生油蒸氣。這種油蒸氣通過噴嘴高速注入并與氣體分子碰撞。碰撞的氣體分子在油蒸氣流中向排氣口移動(dòng)，從而產(chǎn)生真空。這個(gè)過程非常有效，尤其是在需要高真空的應(yīng)用中。

油擴(kuò)散真空泵可以實(shí)現(xiàn) 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空，與其他高真空泵相比，安裝經(jīng)濟(jì)上容易，初始成本低，并且由于結(jié)構(gòu)簡單，具有可靠性和耐用性，可長期提供穩(wěn)定的性能。它廣泛應(yīng)用于研發(fā)等各個(gè)領(lǐng)域。

它抑制了油蒸氣從油擴(kuò)散泵回流到進(jìn)氣側(cè)。

ULVAC愛發(fā)科油擴(kuò)散泵 BW-22

長處

保護(hù)真空容器內(nèi)部免受油擴(kuò)散泵的蒸汽污染。

它旨在*限度地減少排氣阻力。

BW-04B 和 BW-06B 可以通過設(shè)置適配器進(jìn)一步降低油蒸氣的回流速率。

型		BW-02 系列	BW-04B 系列	BW-06B 系列	BW-10 系列	BW-14 系列	BW-20 系列	BW-22 系列	BW-36 系列	BW-52 型
電導(dǎo) [L/sec]		100	940	2200	3130	5000	13000	14000	54000	75000
外徑 [mm]	D	φ120	φ149	φ199	φ350	φ450	φ625	φ680	φ1065	φ1480
	T						52	101	113	165
	t						4	26	28	35
冷卻水接管（尺寸）		遙控 1/8	RC 1/4	RC 1/4	RC 1/4	遙控 3/8	遙控 3/8	遙控 3/8	遙控 3/8	RC 1/2
冷卻水量 [L/min]
重量 [kg]		1	1.3	1.7	7.6	11	22	28	66	200

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

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ULVAC愛發(fā)科 油擴(kuò)散泵 BW-22

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