EBARA荏原廢氣處理設(shè)備 G-WS1000

2025/04/25 11:13:59

產(chǎn)品介紹

可以低成本引進(jìn)并運(yùn)行的濕式廢氣處理裝置。采用荏原獨(dú)有的無需燃料，且在燃燒式廢氣處理裝置方面積累10年以上的副產(chǎn)品對(duì)策，實(shí)現(xiàn)了較長的維護(hù)周期。有助于穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，幫助削減維護(hù)費(fèi)用及人力時(shí)間。
并且，維護(hù)空間**于裝置正面。即使在有限的廠房空間中，也能夠?qū)崿F(xiàn)高靈活性的布局。
處理對(duì)象氣體：NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HCl等可在常溫下處理的水溶性氣體

G-WS型

節(jié)省空間的濕式廢氣處理裝置，是低成本處理水溶性氣體的理想選擇。

濕式廢氣處理裝置

一次性處理多種氣體

副產(chǎn)品對(duì)策

維護(hù)間隔長

運(yùn)行成本低

初期投資成本低

可支持CE標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

EBARA荏原廢氣處理設(shè)備 G-WS1000

規(guī)格表

型號(hào)		單位	G-WS1000
*處理風(fēng)量		L/min	1,000
連接流入口數(shù)			4
外形尺寸		mm	W914×D736×H1,727
外形尺寸
容量	水量	L/min	1 - 10
	排水量	L/min	1 - 10
	氮	L/min	15-50
	電源		1.8-3.5kW、3相AC 200V（50/60Hz）
	排氣管道（已處理氣體）	m3/min	1.5
	排氣管道（框體排氣）	m3/min	1.3
主要的可處理氣體	Epi		HCl、DCS
	CVD		WF6、 NH3、 TiCl4、 BCl3、 ClF3、 SiF4、 Cl2、 F2
	Etching		BCl3、 HCl、 HF、 HBr、 SiF4、 Br2、 Cl2、 F2*
	Asher		NH3
無法進(jìn)行濕式處理的氣體			H2、 SiH4、 PH3、 GeH4、 CH4、 PFCs （CF4、 SF6、 NF3） etc.

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EBARA荏原 廢氣處理設(shè)備 G-WS1000

產(chǎn)品介紹

G-WS型

節(jié)省空間的濕式廢氣處理裝置，是低成本處理水溶性氣體的理想選擇。

規(guī)格表

EBARA荏原廢氣處理設(shè)備 G-WS1000

節(jié)省空間的濕式廢氣處理裝置，是低成本處理水溶性氣體的理想選擇。