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北崎供應EBARA 荏原 RJ-XA 低溫冷卻器
北崎供應EBARA 荏原 RJ-XA 低溫冷卻器
北崎供應EBARA 荏原 RJ-XA 低溫冷卻器
型號 RJ-XA
用于符合全球環(huán)境法規(guī)的半導體制造設備的低 GWP 制冷劑冷卻器
產(chǎn)品介紹
該用于半導體制造設備的冷水機組使用符合全球環(huán)境法規(guī)的低 GWP* 制冷劑 (R513A)。 通過逆變器控制可以降低功耗。
作為可選規(guī)格,它還提供不使用銅或黃銅材料作為接液部件的規(guī)格,從而降低了腐蝕風險。
規(guī)范
型 | RJ-XA1V 系列 | |||
冷卻能力 (50Hz/60Hz) | 千瓦 | 3.7 (10°C 時) 6.1 (20°C 時) | ||
溫度控制范圍 | °C | 5~40 | ||
溫度控制精度 | °C | ± 0.1 | ||
尺寸(寬 x 深 x 高) | 毫米 | 375 x 1050 x 1150 | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 160 (不包括循環(huán)液和冷卻水) | ||
循環(huán)液 | 使用的流體 | 純水、*等 | ||
壓力進料泵容量 | 升/分鐘 | 20 (0.49MPa) | ||
冷卻水 | 溫度范圍 | °C | 10~25 | |
安全標準 | SEMI(S2. S8. F47)、CE、NRTL | |||
權(quán)力 | V | 三相 200~208 | ||
運行控制方法 | 變頻器控制方法 | |||
使用的制冷劑 | R513A(全球變暖值:629) |
北崎8年,日本會社20年,專注領(lǐng)域如下:
儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)