廣泛應用于企事業(yè)單位科研和小批量生產(chǎn)，以及?？蒲薪虒W中涉及到的陶瓷，冶金，電子，玻璃，化工，機械，耐火材料，新材料開發(fā)，特種材料，建材領域。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）， 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。管式爐采用高石英管或高純氧化鋁剛玉管作為爐管，爐管設計有平置安裝，。溫區(qū)設計有單溫區(qū)，雙溫區(qū)，三溫區(qū)，五溫區(qū)等。

1、數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5至 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。

2、內部裝有高精度數(shù)字顯示質量流量計可準確的控制氣體流量。

3、氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%。

4、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

5、不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入。