產(chǎn)品背景

激光干涉測量使用光的波長作為測量單位的基本原理在19世紀(jì)80代左右開始提出。從那以后起，這一原理雖然歷經(jīng)發(fā)展和完善，但始終以測量光波干涉為依據(jù)，因此得名“干涉測量”。詳詢李工（vx）

激光系統(tǒng)射出的光波具有三種主要特性：

? 已知波長，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測量

? 波長非常短，可實(shí)現(xiàn)或高分辨率測量

? 所有光波相位相同，可根據(jù)已知的基準(zhǔn)進(jìn)行測量

  干涉測量是一種相對運(yùn)動測量（從初始位置開始測量），而不是一種*測量（從特定位置開始測量）。不同的光學(xué)鏡組將激光光束穿過不同的路徑，可從單個激光裝置進(jìn)行多種模式測量（例如，線性、角度、直線度）。

環(huán)境補(bǔ)償，無論您的激光裝置多么準(zhǔn)確和穩(wěn)定，激光的測量波長都會因其傳播環(huán)境而改變。氣溫、氣壓和相對濕度的任何變化都將導(dǎo)致測量誤差。

若沒有可靠準(zhǔn)確的波長補(bǔ)償，即使在典型的環(huán)境條件下，也常常會出現(xiàn)20 ppm（百萬分）的線性測量誤差。通過應(yīng)用的環(huán)境補(bǔ)償，可將這些誤差降至±0.5 ppm。詳詢李工（vx）

產(chǎn)品介紹

雷尼紹XL-80激光干涉儀，可用于：

1.機(jī)床與坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)

按照國際標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證機(jī)床和坐標(biāo)測量機(jī)的精品工具

2.研發(fā)與計(jì)量

供校準(zhǔn)和研究實(shí)驗(yàn)室使用的可溯源性測量

運(yùn)動系統(tǒng)

3.動態(tài)性能，支持高速、高分辨率應(yīng)用

校準(zhǔn)是過程控制的基礎(chǔ)

現(xiàn)代工業(yè)需要滿足日益嚴(yán)格的公差、客戶計(jì)劃以及國際質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的要求。與此同時，還要承受降低成本的壓力，因此生產(chǎn)設(shè)備的工作性能受到前所未有的重視。測量和校準(zhǔn)設(shè)備可提供幫助...

產(chǎn)品益處

給設(shè)備用戶帶來的好處 

1.提高產(chǎn)量

2.符合ISO9000系列標(biāo)準(zhǔn)

3.從競爭對手那里贏得高精度加工合同  

4.通過識別自身的誤差來源延長機(jī)器使用壽命

5.對機(jī)器性能進(jìn)行分級，為每一項(xiàng)作業(yè)選擇*機(jī)器

6.通過監(jiān)測磨損情況，計(jì)劃并*限度減少機(jī)器停機(jī)時間

給設(shè)備制造商帶來的好處 

1.證明符合規(guī)范

2.改進(jìn)機(jī)器設(shè)計(jì)

3.提供*的維護(hù)服務(wù)

4.建造精度更高的機(jī)器

5.減少機(jī)器制造周期時間

6.在制造過程中對機(jī)器進(jìn)行測試和診斷

1.線性測量

線性設(shè)置可沿軸測量位置精度該設(shè)置通過比較機(jī)器控制器上顯示的運(yùn)動與激光系統(tǒng)測量的運(yùn)動，來測量軸的線性定位精度。該設(shè)置提供的精度達(dá)±0.5 ppm（百萬分），分辨率達(dá)1納米。軸的重復(fù)性可通過多次測試進(jìn)行測量。在線性測量過程中，激光系統(tǒng)會測量參考位置沿測量光路到光學(xué)反射鏡之間相對距離的變化?？梢砸苿悠渲幸粋€光學(xué)組件，另一個光學(xué)組件保持靜止不動。40 m - 80 m范圍內(nèi)的應(yīng)用可使用長距離線性組件。

2.角度測量

角度設(shè)置可沿軸測量俯仰和扭擺誤差，俯仰和扭擺角度誤差是造成機(jī)床和坐標(biāo)測量機(jī)位置誤差的兩個主要因素。即使是主軸的一個小誤差，都可能對刀尖造成重大影響。這一設(shè)置可以測量高達(dá)±10°的角度偏移，分辨率為0.01角秒。通過監(jiān)測角度反射鏡的移動產(chǎn)生的光路變化進(jìn)行角度測量。角度干涉鏡*安裝在機(jī)器上的某個固定位置。然后將角度反射鏡安裝在機(jī)器的移動部件上。詳詢于工（vx）

3.直線度測量

直線度設(shè)置可測量與移動軸垂直平面內(nèi)的誤差直線度測量結(jié)果記錄了垂直于軸運(yùn)動的水平和垂直平面內(nèi)的誤差。直線度誤差會直接影響機(jī)器的位置精度及輪廓精度。這可能是因?yàn)閷?dǎo)軌磨損、事故或機(jī)器地基不牢造成的。通過監(jiān)測直線度反射鏡或直線度分光鏡（Wollaston棱鏡）的橫向位移產(chǎn)生的光路變化進(jìn)行直線度測量。可提供測量較短的軸 (0.1 – 4 m) 和較長的軸 (1 – 30 m) 的組件。結(jié)合兩個直線度測量結(jié)果可評估獨(dú)立軸的平行度?？商峁┯糜跍y量垂直軸直線度的附件。

? 直線度光閘

? 大角錐反射鏡

? 直線度基板

? 激光準(zhǔn)直輔助鏡

? 固定轉(zhuǎn)向鏡

? 可調(diào)式轉(zhuǎn)向鏡

4.回轉(zhuǎn)軸測量

XR20-W回轉(zhuǎn)軸校準(zhǔn)裝置和XL-80激光系統(tǒng)可測量回轉(zhuǎn)軸的位置精度該回轉(zhuǎn)設(shè)置可通過比較機(jī)器控制器上顯示的運(yùn)動和硬件測量的運(yùn)動，來測量回轉(zhuǎn)軸的位置精度。該設(shè)置采用了XL-80激光 系統(tǒng)、XR20-W回轉(zhuǎn)軸校準(zhǔn)裝置和角度干涉鏡。XR20-W配備一個緊湊輕巧的無線設(shè)備，可在±1角秒的精度范圍內(nèi)采集回轉(zhuǎn)位置數(shù)據(jù)。XR20-W在設(shè)計(jì)上易于使用、數(shù)據(jù)采集速度迄今為止*快且無需操作人員干預(yù)。它提供可溯源的測量結(jié)果，可利用RotaryXL軟件包按照國際標(biāo)準(zhǔn)出具報(bào)告。“擺動軸轉(zhuǎn)臺測量軟件”能夠在很難將XR20-W安裝到機(jī)床回轉(zhuǎn)軸中心點(diǎn)的機(jī)床配置中使用該系統(tǒng)。詳詢李工（vx）

5.平面度測量

該平面度設(shè)置可測量坐標(biāo)測量機(jī)臺面以及各種平板的表面形狀平面度測量對表面的形狀進(jìn)行分析。這可用于創(chuàng)建三維圖并記錄與理想平面的偏差。如果這些誤差對應(yīng)用的影響很大，那么可能需要進(jìn)行拋光等修正工作。平面度測量組件包含兩個平面度鏡和三個適合不同平面尺寸的基板。平面度鏡不僅可以水平旋轉(zhuǎn)，還可以垂直調(diào)整傾斜。這可以實(shí)現(xiàn)對激光光束的水平和垂直調(diào)整。另外，平面度測量還需要使用角度測量光學(xué)鏡組。

執(zhí)行平面度測量的兩種標(biāo)準(zhǔn)方法均由激光軟件支持：

? 對角線（莫氏）法 — 僅限在八條預(yù)定義的直線上進(jìn)行測量。

? 網(wǎng)格法 — 任何數(shù)量的直線均可在整個平面的兩個正交方向上進(jìn)行測量。

6.垂直度測量

該垂直度設(shè)置可測量兩條標(biāo)稱垂直坐標(biāo)軸的垂直度軸之間需要相互垂直并在整個軸長度保持準(zhǔn)確。垂直度誤差將直接影響機(jī)器生產(chǎn)的工件的定位精度。這些誤差可能是因?yàn)闄C(jī)器地基移動或龍門機(jī)器參考點(diǎn)位置傳感器安裝失調(diào)所致。通過使用一個經(jīng)過校準(zhǔn)的光學(xué)角尺并結(jié)合兩個直線度測量結(jié)果，可以計(jì)算兩軸之間的垂直度。要完成垂直軸的垂直度測量，需要使用前面提到的用于測量垂直方向直線度的附件。根據(jù)應(yīng)用的配置，可能還需要其他安裝附件。您當(dāng)?shù)氐睦啄峤B辦事處可為您提供*個性化解決方案的建議。詳詢李工（vx）