晶圓校準(zhǔn)器 Wafer Aligner
晶圓校準(zhǔn)器是一種應(yīng)用于晶圓加工中的晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，通過(guò)利用晶圓上的缺口(notch)將晶圓調(diào)整至預(yù)設(shè)位置，以確保晶圓的位置及方向，方便后續(xù)工藝的進(jìn)行。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的各個(gè)階段，可集成至各類(lèi)半導(dǎo)體設(shè)備中使用。