ULVAC愛(ài)發(fā)科 低溫泵 CRYO-U22H
ULVAC愛(ài)發(fā)科 低溫泵 CRYO-U22H
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實(shí)現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點(diǎn)是可以提供無(wú)油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個(gè)行業(yè)和研究部門(mén)。
在考慮安裝低溫泵時(shí),其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢(shì)。
長(zhǎng)處
非常適合大型薄膜沉積設(shè)備。
水的抽速*。
復(fù)合旋片式渦輪分子泵 陶瓷軸承型
UTM70B UTM300B
集成控制器渦輪分子泵
UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A
VPT-060
數(shù)字懸浮型渦輪分子泵
UTM-350FH
UTM-480FH
UTM-800FH
UTM-1001FH
UTM-3303FH
UTM-350FW
UTM-480FW
UTM-800FW
UTM-1001FW
UTM-1400FW
UTM-2300FW
UTM-3303FW
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 17,000 |
氫 | 25,000 | ||
氬 | 14,000 | ||
水 | 39,000 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 4.1×103(31) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 8.1×10 元8(6.1×106) |
氫 | 8.5×10 元6(6.4×10 元4) | ||
冷卻下降時(shí)間 (電源循環(huán)) |
*?。℉z) | 150/135(50/60) | |
進(jìn)氣法蘭 | UVG-550型 | ||
壓縮機(jī)組 | 分子式 C30VRT×2 | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 125.0 |
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