一、 簡介

EVG公司成立于1980年，公司部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和臺灣設有分公司，并在其他各地設有銷售代理及售后服務部，產(chǎn)品和服務遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導體制造設備的全球供應商，其豐富的產(chǎn)品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。

目前已有數(shù)千臺設備安裝在世界各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統(tǒng)/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導體器件和功率器件等領(lǐng)域。

EVG是世界上為數(shù)不多的可以商業(yè)化納米壓印設備的好的公司，可為客戶提供完整的納米壓印方案，包括熱壓印、紫外壓印、微接觸印刷。EVG公司以其的極其優(yōu)異的對準技術(shù)和好的的熱壓技術(shù)為納米壓印的實施打下了堅實的基礎(chǔ)。

EVG510HE是一款半自動的熱壓印設備，用于硬模壓印和納米印刷。該熱壓印系統(tǒng)配備了一個通用的熱壓腔室，具備高真空和高接觸壓力能力，可以處理用于熱壓印的所有聚合物材料。EVG510HE可以實現(xiàn)長寬比的熱壓印和多重脫模工藝，為客戶提供高質(zhì)量的圖形轉(zhuǎn)移和納米級分辨率。

二、應用范圍

納米壓印技術(shù)主要應用于如下方面：

LEDS 制作，LED PSS納米壓印工藝，LED納米透鏡陣列；微流體學；芯片實驗室；抗反射層； 納米壓印光柵； 蓮花效應；光子帶隙；光學及通訊：光晶體，激光器件；生物技術(shù)解決方案：醫(yī)藥分析，血液分析，細胞生長。

二、 主要特點

u 用于聚合物襯底和旋涂樹脂的熱壓?。?

u 自動化熱壓印程序；

u EVG的單獨對準技術(shù)用于壓印和印刷前對準；

u 全程軟件控制工藝流程的運行；

u 外置熱壓脫模和冷卻臺；

u 紫外納米壓印可選

四、技術(shù)參數(shù)

u 印章/襯底尺寸：大對角線長度150mm；

u 接觸壓力：大10KN；

u 堆垛厚度：大15mm；